Inhoudsopgave
Advertenties
Tabel 3 – Druk- en spanningskarakteristiek voor stikstof en droge lucht (APG-L)
Uitgangs-
Druk (mbar)
spanning (V)
-6
< 1 x 10
-5
8,26 x 10
-4
2,27 x 10
-4
5,00 x 10
-3
1,08 x 10
-3
1,68 x 10
-3
2,60 x 10
-3
3,84 x 10
-3
5,15 x 10
-3
6,87 x 10
-2
1,05 x 10
-2
1,56 x 10
-2
2,10 x 10
-2
2,77 x 10
-2
3,45 x 10
-2
4,16 x 10
-2
5,04 x 10
-2
5,92 x 10
-2
8,74 x 10
-1
1,27 x 10
-1
1,71 x 10
-1
2,23 x 10
-1
2,90 x 10
-1
3,57 x 10
Als u de signaaluitgang van de APG op een spanningsmeter hebt aangesloten, rekent u de gemeten spanning om naar
de overeenkomstige drukwaarde: zie
Pas de weergegeven drukwaarde zo nodig aan ter compensatie voor de RMM van het gas in uw vacuümsysteem
(raadpleeg
Hoofdstuk
1.3).
4.2
Het instelpunt aanpassen
Als u de APG hebt aangesloten op een AGC-regelaar of AGD-display van Edwards, voert u de procedure voor het
aanpassen van het instelpunt uit; deze wordt beschreven in de instructiehandleiding die met de unit wordt verstrekt.
Als u de APG hebt aangesloten op uw eigen bedieningsapparatuur, wijzigt u het instelpunt van de APG aan de hand
van de onderstaande procedure (zie
1. Schuif het afdekplaatje (2) van de vacuümaansluiting af.
2. Gebruik een kleine schroevendraaier om de instelpotentiometer af te stellen (4).
3. Maak een schatting van de ingestelde drukwaarde aan de hand van de schaal op het etiket met instelpunten
(Figuur
4, item 1 en
Figuur
4. Zo voert u een nauwkeurige meting van de ingestelde drukwaarde uit:
verbind pen 7 met pen 2 (of de aarde).
meet de spanning tussen de pennen 3 en 5 met een spanningsmeter.
reken de spanning om naar de overeenkomstige druk aan de hand van de gegevens in
© Edwards Limited 2018. Alle rechten voorbehouden.
Edwards en het Edwards logo zijn handelsmerken van Edwards Limited.
Druk (torr)
-7
2,00
< 7,5 x 10
-5
2,05
6,20 x 10
-4
2,10
1,70 x 10
-4
2,20
3,75 x 10
-4
2,40
8,10 x 10
-3
2,60
1,26 x 10
-3
2,80
1,95 x 10
-3
3,00
2,88 x 10
-3
3,20
3,86 x 10
-3
3,40
5,15 x 10
-3
3,60
7,88 x 10
-2
3,80
1,17 x 10
-2
4,00
1,58 x 10
-2
4,20
2,08 x 10
-2
4,40
2,59 x 10
-2
4,60
3,12 x 10
-2
4,80
3,78 x 10
-2
5,00
4,44 x 10
-2
5,20
6,56 x 10
-2
5,40
9,53 x 10
-1
5,60
1,28 x 10
-1
5,80
1,67 x 10
-1
6,00
2,18 x 10
-1
6,20
2,68 x 10
Tabel 2
voor de APG-M of de APG-MP en
Figuur
4).
5).
Uitgangs-
Druk (mbar)
spanning (V)
-1
4,35 x 10
6,40
-1
5,33 x 10
6,60
-1
6,40 x 10
6,80
-1
7,67 x 10
7,00
-1
9,23 x 10
7,20
1,14
7,40
1,40
7,60
1,66
7,80
1,92
8,00
2,38
8,20
2,95
8,40
3,51
8,60
4,17
8,80
5,40
9,00
7,06
9,20
9,69
9,40
1
1,29 x 10
9,50
1
1,66 x 10
9,60
1
2,07 x 10
9,70
1
3,39 x 10
9,80
1
6,32 x 10
9,90
2
1,44 x 10
9,95
3
1,00 x 10
10,00
Tabel 3
voor de APG-L.
D021-71-886 Issue L
Druk (torr)
-1
3,26 x 10
-1
4,00 x 10
-1
4,80 x 10
-1
5,75 x 10
-1
6,92 x 10
-1
8,55 x 10
1,05
1,25
1,44
1,79
2,21
2,63
3,13
4,05
5,30
7,27
9,68
1
1,24 x 10
1
1,55 x 10
1
2,54 x 10
1
4,74 x 10
2
1,08 x 10
2
7,50 x 10
Tabellen 2
en 3.
Pagina 15
Advertenties
Inhoudsopgave
