Download Inhoudsopgave Inhoud
Deel
Print deze pagina
  1. Handleidingen
  2. Merken
  3. Varian Handleidingen
  4. Controleurs
  5. Turbo-V 70 Controller
  6. Handleiding

Varian Turbo-V 70 Controller Handleiding

Verberg thumbnails
Inhoudsopgave

Advertenties

Quick Links

Download deze handleiding
Turbo-V 70
Controller
Model 969-9405
Model 969-9505
87-900-868-01 (C)
MARCH 2003
vacuum technologies
MANUALE ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE ISTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
ISTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
Ο∆ΗΓΙΕΣ ΧΡΗΣΕΩΣ
INSTRUCTION MANUAL

Advertenties

Inhoudsopgave
loading

Gerelateerde Handleidingen voor Varian Turbo-V 70 Controller

Samenvatting van Inhoud voor Varian Turbo-V 70 Controller

  • Pagina 1 vacuum technologies MANUALE ISTRUZIONI Turbo-V 70 BEDIENUNGSHANDBUCH Controller NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES Model 969-9405 MANUAL DE ISTRUÇÕES Model 969-9505 BEDRIJFSHANDLEIDING ISTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA Ο∆ΗΓΙΕΣ ΧΡΗΣΕΩΣ INSTRUCTION MANUAL 87-900-868-01 (C) MARCH 2003...
  • Pagina 2 Turbo-V 70 Controller...

  • Pagina 5: Inhoudsopgave

    BRUKSANVISNING ...................... BRUKERVEILEDNING....................KÄYTTÖOHJEET......................ODHGIES CRHSEWS...................... INSTRUCTIONS FOR USE ..................TECHNICAL INFORMATION..................TURBO-V 70 CONTROLLER DESCRIPTION ................CONTROLLER SPECIFICATIONS ....................CONTROLLER OUTLINE ....................... Line Voltage Change Over ....................POWER INTERCONNECTIONS ....................Connection J7 - 120 Vac Connector ..................Connection P6 - 24 Vdc Connector..................
  • Pagina 6 USE ..............................General..........................Startup........................... FRONT / REMOTE / 232 Selection..................Monitor Relay Programming....................Reset Command ........................Starting the Pump........................Operating the Pump ......................Low Speed Operation......................Pump Shutdown ........................Power Failure ........................Remote Control Mode Operation ..................RS 232 Control Mode Operation ................... ERROR MESSAGES........................

  • Pagina 7: Informazioni Generali

    Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice "Technical Information". Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: Imballo dei controller 969-9405 e 969-9505 Ogni controller giunge dalla Varian predisposto per una PERICOLO! certa tensione di alimentazione: messaggi pericolo attirano...
  • Pagina 8 ISTRUZIONI PER L’USO INSTALLAZIONE PERICOLO! Per evitare danni alle persone ed all'apparato, nel caso in cui la PERICOLO! pompa sia appoggiata su di un tavolo assicurarsi che sia stabile. Non far funzionare mai la pompa se la flangia di Il controller è fornito di un cavo di alimentazione a tre fili ingresso non è...
  • Pagina 9 ISTRUZIONI PER L’USO 1. Connettore di ingresso dei segnali logici (il connettore di accoppiamento viene fornito con l’apposito ponticello di richiusura). 2. Connettore di uscita dei segnali logici e di verifica della corrente della pompa. 3. Connettore di uscita di potenza (24 Vcc per il ventilatore di raffreddamento pompa).

  • Pagina 10: Messaggi Di Errore

    ISTRUZIONI PER L’USO In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di Qualora un controller dovesse essere rottamato, riparazione Varian o del "Varian advance exchange procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle service", che permette di ottenere un controller normative nazionali specifiche.

  • Pagina 11: Allgemeines

    Mißachtung Controller nicht fällt oder Stößen ausgesetzt wird. einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. werden. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Controller Serie Turbo-V sind EG-Richtlinie 85/399 für Umweltschutz.
  • Pagina 12 GEBRAUCHSANLEITUNG INSTALLATION GEFAHR! Steht die Pumpe auf einem Tisch, muß auf den stabilen Stand GEFAHR! geachtet werden, da sonst die Gefahr von Personen- und Der Controller wird mit einem Netzkabel geliefert, das 3 Geräteschäden besteht. Die Pumpe nie einschalten, wenn der Drähte enthält und mit einem den internationalen Eingangsflansch nicht am System angeschlossen bzw.

  • Pagina 13: Bedienung

    GEBRAUCHSANLEITUNG 1. Eingangsverbinder logischen Signale (der Kupplungsverbinder wird mit einer Wiederverschließbrücke geliefert). 2. Ausgangsverbinder logischen Pumpenstromkontrollsignale. 3. Leistungsausgangsverbinder (24 VGs für den Pumpen- kühlventilator). 4. Pumpenkabel. 5. Versorgungseingangsmodul für den Controller. Umfaßt die Schutzsicherung, Spannungswandler, Leistungsanschlußbuchse und den EMC-Filter. 6. Leistungsausgangsbuchse (120 VWs) für die Versorgung des Zubehörs (vent device, Einschaltrelais für die Primärpumpe, etc.).
  • Pagina 14 GEBRAUCHSANLEITUNG Bei einem Defekt kann der Varian-Reparaturdienst Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung bzw. der "Varian advanced exchange service" in der einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen. Anspruch genommen werden, der für die Erneuerung defekter Controller sorgt. FEHLERMELDUNGEN einigen Störungsfällen zeigt GEFAHR!

  • Pagina 15: Indications Generales

    Varian, avant transport, contacter aussitôt le bureau de vente local. l'utilisation de l'appareil. Varian décline par conséquent Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller toute responsabilité en cas d'inobservation totale ou tout particulièrement à...
  • Pagina 16 MODE D'EMPLOI INSTALLATION DANGER! Pour éviter tous dommages aux personnes et à l'appareil, si la DANGER! pompe est placée sur un plateau d'appui s'assurer que ce Le contrôleur est doté d'un câble d'alimentation à trois dernier est stable. Ne jamais faire fonctionner la pompe si la fils avec une fiche du type approuvé...

  • Pagina 17: Procedures D'utilisation

    MODE D'EMPLOI 1. Connecteur d'entrée des signaux logiques (le connecteur d'enclenchement doté barrette réenclenchement spéciale). 2. Connecteur de sortie des signaux logiques et de vérification du courant de la pompe. 3. Connecteur de sortie de puissance (24 Vcc pour le ventilateur de refroidissement de la pompe).

  • Pagina 18: Messages D'erreur

    MODE D'EMPLOI En cas de panne, il est possible de s'adresser au En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son Service de réparation Varian ou bien au "Varian élimination conformément réglementations advance exchange service" qui permet d'obtenir un nationales en la matière.

  • Pagina 19: Istrucciones De Uso

    Varian antes de utilizar el equipo. Varian se ponerse en contacto con la oficina de venta más considera libre de cualquier responsabilidad debida al cercana.
  • Pagina 20 INSTRUCCIONES DE USO INSTALACIÓN ¡PELIGRO! ¡PELIGRO! Para evitar lesiones a las personas y al aparato, si la bomba está apoyada sobre una mesa cerciorarse que El controler va dotado de un cable de alimentación de es estable. No poner en marcha nunca la bomba si la tres hilos con una clavija de tipo aprobado a nivel brida de entrada no está...
  • Pagina 21 INSTRUCCIONES DE USO 1. Conector de entrada de las señales lógicas (el conector de acoplamiento se suministra con el conector puente específico de cierre). 2. Conector de salida de las señales lógicas y de comprobación de la corriente de la bomba. 3.

  • Pagina 22: Mensajes De Error

    INSTRUCCIONES DE USO En caso de avería es posible utilizar el servicio de En caso de que un controler se tenga que desguazar, reparación Varian o del “Varian advance exchange efectuar eliminación respetando normas service”, que permite obtener un controler regenerado nacionales específicas.

  • Pagina 23: Istruções Para O Uso

    Varian antes de utilizar a aparelhagem. contacto com o escritório de vendas local. A Varian não se responsabiliza pela inobservância total Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte...
  • Pagina 24 INSTRUÇÕES PARA O USO INSTALAÇÃO PERIGO! Para evitar danos às pessoas e à aparelhagem, caso a PERIGO! bomba esteja apoiada numa mesa, certificar-se que esteja estável. Nunca activar a bomba se o flange de O controller é fornecido com um cabo de alimentação entrada não está...
  • Pagina 25 INSTRUÇÕES PARA O USO 1. Conector de entrada dos sinais lógicos (o conector de acoplamento é fornecido com ponte específica fecho). 2. Conector de saída dos sinais lógicos e de verificao da corrente da bomba. 3. Conector de saída de potência (24 Vcc para o ventilador de refrigeração da bomba).

  • Pagina 26: Mensagens De Erro

    INSTRUÇÕES PARA O USO Em caso de defeito é possível utilizar o serviço de Caso um controller deva ser destruído, proceder à sua reparação Varian ou o "Varian advanced exchange eliminação respeitando normas nacionais service", que permite obter um controller regenerado específicas.

  • Pagina 27: Algemene Informatie

    Varian acht zich niet aansprakelijk plaatselijke verkoopkantoor. voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht...

  • Pagina 28: Installatie

    GEBRUIKSAANWIJZINGEN INSTALLATIE GEVAAR! GEVAAR! Indien de pomp op een tafel is geplaatst, controleren of deze stabiel staat om letsel aan personen en schade De controller is voorzien van een voedingskabel met aan het apparaat te voorkomen. Laat de pomp nooit drie draden en een stekker van het internationaal werken zonder dat de ingangsflens aan het systeem is goedgekeurde type.
  • Pagina 29 GEBRUIKSAANWIJZINGEN 1. Connector voor ingang logische signalen (de te koppelen connector wordt met de speciale sluitklem geleverd). 2. Connector voor uitgang logische signalen en controle pompstroom. 3. Connector voor stroomuitgang voor koelventilator van de pomp). 4. Pompkabel. 5. Ingangsmodule van de voeding voor de controller. Omvat zekering, spanningswisseling, krachtcontact-stop en EMC filter.

  • Pagina 30: Foutmeldingen

    Mocht controller gesloopt worden, reparatiedienst van Varian of de "Varian advanced overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te exchange service" in te schakelen: zo krijgt men een werk. ruilcontroller ter vervanging van de defecte controller. FOUTMELDINGEN In geval van storingen wekt het zelfdiagnose-circuit van...

  • Pagina 31: Opbevaring

    Varian, før udstyret anvendes. emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået Varian tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som under transporten. Sørg for at styreenheden ikke tabes følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig eller udsættes for stød ved udpakningen.
  • Pagina 32 BRUGSANVISNING INSTALLATION ADVARSEL ! Sørg for, at pumpen står fast, hvis den er installeret på ADVARSEL ! et bord. Dette er for at forebygge skader på apparatet Styreenheden leveres med strømkabel med tre ledere og personer. Start aldrig pumpen, hvis pumpetilløbet og godkendt stik efter internationale standarder.
  • Pagina 33 BRUGSANVISNING 1. Indgangskontakt til logiske signaler (tilslutningskontakten leveres med specielt forbindelsesbro). 2. Udgangskontakten til logiske signaler og kontrol af ø pumpens str 3. Udgangskontakt til effekt (24 V jævnstr ø m til pumpens ø leventilator). 4. Kabel til tilslutning af pumpen. 5.
  • Pagina 34 Tryk to gange på START-knappen for at starte OVERVOLTAGE fødespænding eller styreenheden har fået et pumpen igen. falsk signal. Hvis meddelelsen kommer igen tag kontakt med Varian for nødvendig vedligeholdelse. CONTROLLER FAILURE Afbrydelse sikring sekundært Ret henvendelse til Varian vedrørende effektkredsløb.

  • Pagina 35: Allmän Information

    Varian före användning emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador som helt under transporten. eller delvis orsakats av åsidosättande av instruktionerna, Se till att styrenheten inte tappas eller utsätts för stötar olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap,...

  • Pagina 36: Användning

    BRUKSANVISNING INSTALLATION VARNING! VARNING! Försäkra dig att pumpen står stadigt, om den är installerad på ett bord, detta för att förebygga skador på Styrenheten levereras med strömkabel med tre ledare apparaten och personer. Sätt aldrig igång pumpen, om godkänd stickpropp enligt internationella intagsflänsen varken är kopplad till systemet eller är...
  • Pagina 37 BRUKSANVISNING 1. Ingångskontakt för logiska signaler (anslutningskontakten levereras med speciell stängningsbrygga). 2. Utgångskontakt för logiska signaler och kontroll av pumpens ström. 3. Utgångskontakt för effekt (24 V likström för pumpens kylfläkt). 4. Kabel för anslutning av pumpen. 5. Spänningsingångsmodul för styrenheten.
  • Pagina 38 BRUKSANVISNING styrenheten havererar, kontakta Varian Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som lagstiftning. kan ersätta styrenheten med en renoverad styrenhet. FELMEDDELANDEN När vissa uppstår visar styrenhetens VARNING! självdiagnoskrets aktuellt felmeddelande på displayen. De möjliga meddelandena listas i följande tabell.

  • Pagina 39: Brukerveiledning

    Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Styreenheten leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan transporten, må kontakt lokale ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på...
  • Pagina 40 BRUKERVEILEDNING INSTALLASJON ADVARSEL! Dersom pumpen er installert på et bord må du ADVARSEL! kontroller at pumpen står støtt. Dette er viktig for å Styreenheten leveres med strømkabel med tre ledere forhindre skader på apparatet og på personer. Dersom og godkjent støpsel i henhold til internasjonale inngangsflensen hverken er tilkoplet systemet eller standarder.
  • Pagina 41 BRUKERVEILEDNING 1. Inngangskontakt for logiske signaler (tilkoplingskontakten leveres med spesiell lukkebrygge). 2. Utgangskontakt for logiske signaler og kontroll av pumpens strøm. 3. Utgangskontakt for effekt (24 V likestrøm til pumpens kjølevifte). 4. Kabel for tilkopling av pumpen. 5. Spenningsinngangsmodul for styreenheten. Modulen omfatter vernesikring, spenningsomkopler, uttak for spenningsmåling og EMC-filter.
  • Pagina 42 Det har oppstått en feil i styreenhetens OVERVOLTAGE starte pumpen igjen. Vises feilmeldingen matedel, eller så har styreenheten fått et om igjen, må du ta kontakt med Varian for falskt signal. nødvendig vedlikehold. Avbrudd i sikringen til det sekundæra Kontakt Varian for vedlikehold.

  • Pagina 43: Käyttöohjeet

    Mikäli havaitsette mahdollisesti mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki muut Varianin kuljetuksen aikana sattuneita vaurioita, ottakaa yhteys toimittamat lisätiedot. Varian ei vastaa seurauksista, jotka paikalliseen myyntitoimistoon. johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta Pakkauksen purkamisen yhteydessä huolehtikaa, että laiminlyömisestä, ammattitaidottomien henkilöiden valvoja eipääse putoamaan ja välttäkää...
  • Pagina 44 KÄYTTÖOHJEET ASENNUS VAARA! VAARA! Mikäli pumppu on asetettu pöydälle, varmistakaa että se on vakaa. Näin vältytään vammoilta ihmisille sekä itse koneelle. Valvoja toimitetaan kolmijohtoisella sähkökaapelilla, Älkää myöskään käyttäkö pumppua, mikäli sisääntulon jonka pistoke on kansainvälisesti hyväksytty. Käyttäkää laippaa ei ole kytketty järjestelmään tai mikäli sitä ei ole suljettu aina tätä...
  • Pagina 45 KÄYTTÖOHJEET 1. Logiikkasegnaalien tulokytkentä (pariliittimet toimitetaan niihin sopivilla yhdyskaapelisulkijalla). 2. Logiikkasegnaalien poistokytkentä ja pumpun sähkövirran tarkistus. 3. Tehon poistokytkentä vaihtovirta pumpun jäähdytystuulettimelle). 4. Pumpupukaapeli. 5. Valvojan sähkövirran tulomoduuli. Käsittää suojasulakkeen, jännitteenmuuntajan, sähkövoiman pistorasian ja EMC suodattimen. 6. Voimanpoiston pistorasia (120 vaihtovirta) valinnaisten laitteiden virtatarpeelle (ilmareikälaitteelle, pääpumpun aktivointireleelle jne.) 7.
  • Pagina 46 KÄYTTÖOHJEET Toimintahäiriön sattuessa on mahdollista käyttää Mikäli valvoja täytyy romuttaa, toimikaa Varianin korjauspalvelua tai "Varian advance exchange hävittämisessä kansallisten säädösten ja normien service" -palvelua, jolloin on mahdollista vaihtaa määräävällä tavalla. rikkoontunut valvoja ladattuun valvojaan. VIANETSINTÄ Joidenkin toimintahäiriöiden yhteydessä valvojan VAARA! itsemäärittelypiiri...

  • Pagina 47: Odhgies Crhsews

    Varian, prin apov th pwlhv s ewn. crhsimopoiv h sh thÇ suskeuhv Ç . H Varian den fev r ei kamiv a Katav th diav r keia tou anoiv g matoÇ thÇ suskeuasiv a Ç, dwv s te...
  • Pagina 48 ODHGIES CRHSEWS EGKATASTASH KINDUNOS KINDUNOS Gia na apofuv g ete blav b eÇ se av t oma hv sth suskeuhv , se periv p twsh pou h antliv a eiv n ai topoqethmev n h se ev n a trapev z i O ruqmisthv Ç...
  • Pagina 49 ODHGIES CRHSEWS 1. Buv s ma eisov d ou twv n logikwv n shmav t wn (to buv s ma zeugarwv m atoÇ promhqeuv e tai me to eidikov gefurav k i kleisiv m atoÇ). 2. Buv s ma exov d ou twn logikwv n shmav t wn kai epalhv q eushÇ tou reuv m atoÇ...
  • Pagina 50 Se periv p twsh blav b hÇ mporeiv t e na crhsimopoihv s ete thn Gia th diav l ush tou ruqmisthv thrhv s te tiÇ iscuv o useÇ uphresiv a episkeuwv n thÇ Varian hv to "Varian advance eqnikev Ç diatav x eiÇ.

  • Pagina 51: General Information

    If this shows signs of damage which may have other additional information supplied by Varian before occurred during transport, contact your local sales operating the equipment. Varian will not be held office. When unpacking the controller, ensure that it is responsible for any events occurring due to non- not dropped or subjected to any form of impact.
  • Pagina 52 INSTRUCTIONS FOR USE INSTALLATION WARNING! WARNING! To avoid injury to personnel and damage to the equipment, if the pump is laying on a table make sure it The Turbo-V controller is equipped with a 3-wire power is steady. Never operate the Turbo-V pump if the pump cord and plug (internationally approved) for user's inlet is not connected to the system or blanked off.
  • Pagina 53 INSTRUCTIONS FOR USE 1. Logic input signals connectors (mating connector supplied with link). 2. Logic output signals connector and pump current monitor. 3. Power output connector (24 Vdc for pump cooling fan). 4. Pump cord. 5. Controller power entry module consisting of mains fuses, voltage change over, mains socket and EMC filter.

  • Pagina 54: Error Messages

    When a fault has occurred it is possible to use the If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in Varian repair service. Replacement controllers are accordance with the specific national standards. available on an advance exchange basis through Varian.

  • Pagina 55: Technical Information

    TURBO-V 70 CONTROLLER DESCRIPTION (50-60 Hz) AC mains supply into a 3-phase, low The controller is available in two versions which differ voltage, medium frequency output which is required to only in the factory-set input voltage: power the Turbo-V pump.

  • Pagina 56: Controller Specifications

    TECHNICAL INFORMATION CONTROLLER SPECIFICATIONS Radio interference EN 55011 class A group 1 suppression EN 61010-1 Input: IEC1000-4-2, Voltage 100, 120, 220, 240 Vac 1000-4-3, 1000 4-4 ±10%, P6 output fan 100 mA (24 Vdc) 1-phase Frequency J7 output 120 Vac, 1 A 47 to 63 Hz Power (forepump coil, etc.)

  • Pagina 57: Line Voltage Change Over

    TECHNICAL INFORMATION Inspect the controller for any shipping damage. POWER INTERCONNECTIONS The Turbo-V 70 controller model 969-9405 is factory- Connection J7 - 120 Vac Connector operation model The 120 Vac, 1A maximum (independent of line 969-9505 is factory-set for 120 Vac operation.

  • Pagina 58: Connection P6 - 24 Vdc Connector

    TECHNICAL INFORMATION Connection P6 - 24 Vdc Connector DESCRIPTION The 24 Vdc, 100 mA maximum output voltage is present after START pushbutton is pressed and will Remote START/STOP optically isolated from remain present until a fault condition is displayed on the internal circuit, requires a permanently front panel display or the turbopump is stopped.

  • Pagina 59: Connection J2 - Logic Output Interconnections

    TECHNICAL INFORMATION Connection J2 - Logic Output Interconnections DESCRIPTION 7-14 R2 signal 24 V, 60 mA, optically isolated output (pin 14 positive, pin 7 negative). The output Voltage will be present upon the programmed condition delay YES or delay NO (see the cycle diagram in the following pages).

  • Pagina 60: Controller-To-Pump Connection

    Install and tighten the connector screws. connections. • Replace the cover. NOTE Varian cannot guarantee compliance with regulations for radiated emissions unless all external wiring is shielded, with the shield being terminated to the metal shroud on the 0-subconnector. The cable should be secured to the connector with screws.

  • Pagina 61: Rs 232 Communication Descriptions

    "NACK" information. Allowed ASCII characters: Answer = after a request from the host, the • "A" = START Turbo-V 70 controller will answer in one of the following • "B" = STOP ways: • "C" = Low Speed ON •...
  • Pagina 62 Request string a string with 9 characters of the following type: Cycle time Pump life "H" + ..data ..+ CRC 9-10 Cycle number On request a sample program in QBasic language is available by Varian. 87-900-868-01 (C)

  • Pagina 63: Use

    TECHNICAL INFORMATION Startup • Plug the controller power cable into a suitable General power source. • Make all vacuum manifold and electrical connections and The display lights, and shows: refer to Turbo-V pump instruction manual before to operating the Turbo-V controller. R E A D Y F O R L O C A L...

  • Pagina 64: Front / Remote/ 232 Selection

    TECHNICAL INFORMATION • • Press the CURRENT push-button and the display Press the CYCLE NUMBER twice and the display shows: shows: 0 0 A X X X X C Y C L E X X X X X m K R P M X X °...
  • Pagina 65 TECHNICAL INFORMATION The display shows: NOTE R S 2 3 2 The Soft Start mode may be deselected/selected only when the pump is stopped. B A U D R A T E X X X X If necessary press CYCLE NUMBER to select YES or NO, then enter the selection by pressing the PUMP CURRENT pushbutton.

  • Pagina 66: Monitor Relay Programming

    TECHNICAL INFORMATION With connected, bidirectional Monitor Relay Programming communication is established by selecting HOST. Data • The display shows: are sent to an external computer every time the external computer asks for the values. S P E E D T H R E S H O L D The data available are: S E L E C T I O N : X X K R P M...
  • Pagina 67 TECHNICAL INFORMATION Cycle diagram where: D E L A Y E V E N A F T E R XXX = YES or NO. T H R E S H O L D : Y E S By pressing the CYCLE NUMBER push-button, select YES if relay R2 must operate only after the run-up time or select NO when the R2 operation is needed right from start of the turbopump and after...

  • Pagina 68: Reset Command

    TECHNICAL INFORMATION • Reset Command Press the START push-button (or use the remote or RS 232 start signal), and the display shows: • The display shows: S O F T S T A R T P U M P X X X X X h R E S E T ? X X X where:...

  • Pagina 69: Operating The Pump

    TECHNICAL INFORMATION • Operating the Pump If the Soft Start mode has been deselected the display will change and shows: After the starting period, if the system has a vacuum leak or the pressure in the pump/chamber is high (from P U M P S T A R T 1 mbar to atmosphere), the pump continues to operate...

  • Pagina 70: Pump Shutdown

    TECHNICAL INFORMATION Or twice if the display shows other parameters, either If the LOW SPEED mode is selected after normal before starting the pump or after it is operating. operating condition is reached, the display shows: If LOW SPEED is selected before starting the pump, the display shows: A P P R O A C H K R P M...

  • Pagina 71: Remote Control Mode Operation

    TECHNICAL INFORMATION Remote Control Mode Operation RS 232 Control Mode Operation If remote signals are used to operate the controller, it If the RS 232 option is installed and the controller has must be programmed for remote operation (see been programmed for RS 232 operation, the controller paragraph "FRONT/REMOTE/232 Selection")

  • Pagina 72: Error Messages

    TECHNICAL INFORMATION ERROR MESSAGES NOTE For a certain type of failure, the controller will self- diagnose the error and the following messages will be If the upper bearing/pump temperature exceeds displayed. 60 °C, the pump is shut off, and the display will be as shown in the following figure.

  • Pagina 73: Controller Test

    − 54 Vdc ±10% between TP4(-) and TP6(+) − 24 Vdc ±15% on the fan connector. Since no operation can be carried out, contact VARIAN. b) AC three-phase output voltage test On the pump connector connect the DVM in turn between: pins B and C, B and D, C and D.

  • Pagina 74: Test With Dummy Load

    TECHNICAL INFORMATION Test with Dummy Load Pump over-Temperature Test − Connect the 48Ω or the 78Ω dummy loads to the − Disconnect the potentiometer, set it to 5KΩ, and pump connector pins B, C, D, as shown in the then reconnect it. −...

  • Pagina 75: Accessories And Spare Parts

    TECHNICAL INFORMATION ACCESSORIES AND SPARE PARTS DESCRIPTION PART NUMBER J1 input mating connector 969-9853 P7 mating plug 969-9854 Mains cable (European plug, 3 m long) 03-660441-01 Mains cable (American plug, 120 V, 3 m long) 03-660441-02 OPTIONS DESCRIPTION PART NUMBER RS 232 kit 969-9851 P2 output mating connector...
  • Pagina 76 TECHNICAL INFORMATION 87-900-868-01 (C)
  • Pagina 77 NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
  • Pagina 78 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
  • Pagina 79 Tel: (39) 011 997 9111 Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Brazil Fax: (39) 011 997 9350 Varian Industria e Comercio Ltda. Japan Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644 Internet Users: Varian Vacuum Technologies Vila Olimpia Customer Service &...

Deze handleiding is ook geschikt voor:

969-9405969-9505

Inhoudsopgave